依信HDPCVD反应腔装机量突破70个，，
，量产机台国内遥遥领先

        自2021年底依信推出国内首台HDPCVD到客户端，，，目前已升级为新型六边形平台
，，产品性能达到业界领先水平，，
，，坪效比业界第一。。凭借研发实力和先进的设计理念获得客户赞誉和信任
，
，
，市场占有率不断攀升。
。自首台完成验证后，，，，客户持续增加HDPCVD设备采购量，
，，截止到目前反应腔累计装机量已超过70个，，，， 2024年底预计将突破100个。
。。

        依信的HDPCVD设备Hesper产品采用六边形平台(TS-300S)，
，
，可搭配5个反应腔，，，实现了高产能、、、
、高开机率、、易维护和优异的薄膜填充能力。。
。同时具有Wafer残余吸附力监测系统，，，，稳定的静电吸附力和自动控温模式等功能。。
。Hesper主要用于STI、、、、ILD、、、IMD及Passivation等各种沟道介质填充。。