产品介绍

PF-300M为依信自主研发的串联高产能平台。
。
。PF-300M 系列产品可搭载 5 个反应腔，，，，满足客户对不同工艺和膜厚的高效需求。
。。该平台兼容PECVD高端产品pX、、Supra-D，，以及PEALD Astra反应腔。。。
。PF-300M Supra-D 系列产品是面向先进制程的新一代高端产品，
，，采用全新的独立腔室设计，，以优异的薄膜稳定性
、、均匀性、、颗粒度表现实现更严格的工艺指标要求。。。

产品特点
- 串联的高产能平台
- 可搭配多个反应腔，
，，实现产能的优化配置
- 颗粒度表现优异
- 通过S2安全认证和F47标准检验